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易純凈化,只為潔凈空間

高效 / 環(huán)保 / 節(jié)能

易純產(chǎn)品和潔凈室系統(tǒng)解決方案廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、半導(dǎo)體制造業(yè)、航空航天、精密儀器儀表、醫(yī)療衛(wèi)生、生物制藥、潔凈手術(shù)室、生物實(shí)驗(yàn)室、食品保健、光纖光纜、科研教學(xué)等多個領(lǐng)域,在生物制藥、電子工業(yè)、潔凈手術(shù)室行業(yè)確定了領(lǐng)先地位。
產(chǎn)品均通過國家標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證
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電子廠房凈化車間

關(guān)鍵字:電子廠房凈化車間 日期:2019/11/9 16:17:16

電子廠房凈化車間

    光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。

 

光學(xué)微電子凈化工程一般包括:

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)


光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌

等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。

 

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。

 

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。


凈化等級說明:

1級 這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米。

10級 這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。

100級 很多人認(rèn)為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。

1000級 這個級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。

10000級 萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。

100000級 十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。

 

潔凈室(區(qū))空氣潔凈級別表

潔凈度級別
塵粒最大允許數(shù)/立方米
≥0.5μm塵粒數(shù)
≥5μm塵粒數(shù)
微生物最大允許數(shù)
浮游菌/立方米
沉降菌/皿
100級
3,500
0
5
1
10,000級
350,000
2,000
100
3
100,000級
3,500,000
20,000
500
10
300,000級
10,500,000
60,000
1000
15

 

ISO14644-1(國際標(biāo)準(zhǔn))

空氣潔凈
度等級(N)
大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2




ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
ISO Class7



352,000
83,200
2,930
ISO Class8



3,520,000
832,000
29,300
ISO Class9



35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數(shù)字來確定等級水平

 

潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級

空氣潔凈度等級[1](N)
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2




2
100
24
10
4


3
1000
237
102
35
8

4(十級)
10000
2370
1020
352
83

5(百級)
100000
23700
10200
3520
832
29
6(千級)
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7(萬級)



352000
83200
2930
8(十萬級)



3520000
832000
29300
9(一百萬級)



35200000
8320000
293000


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